トランジスタ素子及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)： ▲柳▼川信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165413
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012887
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 SOIMOSFETにおける短チャネル効果や基板浮遊効果を抑制する。【解決手段】絶縁体上の半導体層において、ソース・ドレイン領域5、p型領域4及びソース・ドレイン領域5を、この順に横方向に設ける。p型領域4の垂直上方に、より不純物濃度の高い半導体層により形成される上部ゲート電極6を設ける。酸化膜2の下部には、下部ゲート1を設ける。【効果】通常のMOSFETと異なり、ゲート酸化膜を介さずに、上部ゲート電極を直接第2導電型領域に接触させることにより、薄いゲート酸化膜を形成しなくともゲート-チャネル間容量が増加し、ゲートによるチャネルの制御性が増す。また、しきい値電圧が下部ゲート電極により制御され、短チャネル効果の抑制を目的とした基板不純物の高濃度化と、しきい値の設定とが独立に行える。

請求項（抜粋）：

基板と、絶縁体層と、前記絶縁体層によって前記基板と絶縁され該絶縁体層に接した領域にチャネルが形成される第1導電型不純物層とを含むことを特徴とするトランジスタ素子。

IPC (2件)：

H01L 29/786 , H01L 29/78

FI (5件)：

H01L 29/78 617 K , H01L 29/78 301 G , H01L 29/78 301 X , H01L 29/78 617 N , H01L 29/78 617 M

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭49-013117
特開平2-043742
特開昭62-026866

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