特許

J-GLOBAL ID：200903089245395368

フォトリソグラフィ用のエネルギー放出システム

発明者： ハース エドウィン ジー. ,  グトウスキー ロバート エム. ,  キャリア ヴィンセント エス. ,  オーマン リチャード エイ. ,  トッド アラン エム. ,  アベル ブルース ディー. ,  クリスティーナ ヴィンセント エイ. ,  ハートリー リチャード エイ.ジュニア ,  ピーコック マイケル エイ.
出願人/特許権者： アドヴァンスト エナジー システムズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外8名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-542116
公開番号（公開出願番号）：特表2002-510548
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：

【要約】放射エネルギーシステムが提供される。放射エネルギーシステム(10)は、ノズル(22)を通して連絡する流体(34)を含むことができる。ノズル(22)を通して連絡する流体(34)は、柱状噴射流(40)を形成する。入力エネルギー(64)を柱状噴射流(40)中の流体(34)に加える。入力エネルギー(64)が柱状噴射流(40)中の流体(34)を励起して、放射エネルギー(16)を生成させる。放射エネルギー(16)は出力光学素子(18)に収集され、標的(20)に向けられる。一実施形態では、標的(20)は、半導体デバイス(70)を製造するフォトリソグラフィシステムインタフェース(68)である。遠隔制御のXYZ方向マイクロ位置決めステージ(620)が、放射エネルギービームに対するノズル(510)およびディフューザ(512)の位置調整を容易にする。

請求項（抜粋）：

放射エネルギーシステムであって、 流体ノズルと、 流体ノズルを通って連絡し、柱状噴射流を形成する流体と、 柱状噴射流に加えられて柱状噴射流中の流体を励起する入力エネルギーと、 励起された流体によって生成される放射エネルギーと、 放射エネルギーを収集し、標的に向ける出力光学素子とを備える放射エネルギーシステム。

IPC (4件)：

B05B 1/34 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/027 ,  H05G 1/00

FI (4件)：

B05B 1/34 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 531 S ,  H05G 1/00 Z

Fターム (13件)：

2H097CA11 ,  2H097LA10 ,  4C092AA02 ,  4C092AC09 ,  4F033AA14 ,  4F033BA01 ,  4F033CA04 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046GA11 ,  5F046GC01