特許
J-GLOBAL ID：200903089248401679
試料の結晶欠陥計数装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078758
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021801
出願日： 1995年04月04日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】 簡便にしかも短時間に結晶欠陥をその種類ごとに計数することのできる試料の結晶欠陥計数装置。【構成】 この装置A1は,半導体ウエハ1に含まれるOSF,BMDピット2a,2bをその種類ごとに計数する装置であって,レーザ3により照射された光のウエハ表面での反射方向に配置され,その方向の反射光を受光する光検出器4と,光検出器4により受光された反射光のパターンに基づいて半導体ウエハ1に含まれるOSF,BMDピット2a,2bをその種類ごとに計数する演算装置5及びコンピュータ6とを具備している。上記構成により,簡便でしかも短時間に結晶欠陥をその種類毎に計数することができる。
請求項（抜粋）：
試料に含まれる結晶欠陥をその種類毎に計数する試料の結晶欠陥計数装置において,所定の角度から試料表面に向けて光を照射する投光部と,上記投光部により照射された光の試料表面での反射方向に配置され,その方向の反射光を受光する受光部と,上記受光部により受光された反射光のパターンに基づいて上記試料に含まれる結晶欠陥をその種類ごとに計数する計数部とを具備してなることを特徴とする試料の結晶欠陥計数装置。
IPC (2件)：
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