特許

J-GLOBAL ID：200903089252486824

機能フィルムの検査方法と検査装置

発明者： 原 忍
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-353937
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165865
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 機能フィルムを構成する層の欠陥を区別して検査する。【解決手段】 搬送手段11、12で搬送された機能フィルム1裏面の反射防止層の欠陥を第1の検出手段13a、14a、15aによって反射光により検出し、機能フィルム1裏面の欠陥及び表面(機能面)の欠損等を第2の検出手段13b、14b、15bによって反射光により検出し、フィルム内部のひびや傷等の欠陥を第3の検出手段13c、14c、15cによって機能フィルム1を通過して散乱された散乱光により検出し、第1、第2及び第3の検出手段の検出結果を判定手段17で総合的に評価し、その評価結果に基づいてマーク手段20によって、機能フィルム1の欠陥箇所に欠陥の種類に応じたマークを施す。

請求項（抜粋）：

多層構造の機能フィルムに照射する光の反射光又は透過光の強さのレベルのしきい値との比較を、上記機能フィルムに対する上記照射光の角度、反射光若しくは透過光を受光する位置及び/又はしきい値を異ならせて行い、上記複数の比較結果に基づいて上記機能フィルムの欠陥箇所及び欠陥の種類を判別することを特徴とする機能フィルムの検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/892 ,  G02B 1/11

FI (2件)：

G01N 21/892 A ,  G02B 1/10 A

Fターム (16件)：

2G051AA41 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051DA15 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2K009AA02 ,  2K009AA15 ,  2K009CC34 ,  2K009EE00 ,  2K009EE03