特許

J-GLOBAL ID：200903089255947806

液流路形成用樹脂材料、これを用いた液体噴射記録ヘッド、及びその製造方法

発明者： 芝 昭二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-323009
公開番号（公開出願番号）：特開平8-174845
出願日： 1994年12月26日
公開日（公表日）： 1996年07月09日
要約：

【要約】【目的】 基板と液流路形成用樹脂材料との間の接着強度を高めた液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。【構成】 300〜500nmの光の透過率が50%以上の第一の基板11に液流路のパターンをフォトリソグラフ技術で形成し、次いで液流路のパタン上に樹脂材料層15を積層後、第二の基板13を重ね、光、熱で樹脂材料層15を硬化させた後、液流路のパタンを溶解除去して吐出口17を形成する記録ヘッドの製造方法において、前記樹脂材料層15に、光硬化性エポキシ化合物及び熱硬化性シリコーン化合物を含有する樹脂材料を用いる。

請求項（抜粋）：

第1の基板と、300〜500nmの波長の光の透過率が50%以上である第2の基板を用い、(1)第一の基板に液体吐出エネルギー発生部を形成し、(2)液体吐出エネルギー発生部を有する第一の基板上の液流路形成部位上に溶解除去可能な型材をフォトリソグラフィーにより形成し、(3)型材を形成した第一の基板上に光硬化成分および熱硬化成分を含有する樹脂材料とインク供給用貫通口を有する第二の基板とを順次積層した構造体を形成し、(4)300〜500nmの波長の光の透過率が50%以上の第2の基板側から構造体に光照射を行った後熱処理を施すことにより光硬化成分と熱硬化成分を含有する樹脂材料を硬化させ、(5)硬化した樹脂材料で覆われた該型材を溶解除去する、ことにより液流路および液室を形成することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法において、光および熱硬化成分を含有する樹脂材料が、光硬化可能なエポキシ化合物および熱硬化可能なシリコーン化合物を含有して成ることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。