特許

J-GLOBAL ID：200903089259479106

超純水製造装置

発明者： 中村 寛治 ,  柴田 雅秀 ,  安藤 裕美
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-211190
公開番号（公開出願番号）：特開平9-155371
出願日： 1984年11月02日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 超純水製造システムの微生物の増殖によるトラブルを防止する。【解決手段】 膜分離装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた超純水製造システムBに、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽13と、その処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器14とを有する生物処理手段Fを設ける。【効果】 生物処理手段においては、エネルギー源及び栄養源の存在下で好気的に生物処理が行なわれ、純水に含まれていた微量のTOC成分及び/又はリン成分がほぼ完全に除去される。得られる超純水は、微生物の増殖のおそれのない、極めて優れた水質のものとなる。

請求項（抜粋）：

膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた超純水処理手段、及び微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手段、を備えてなる超純水製造装置。

IPC (5件)：

C02F 3/02 ,  C02F 1/00 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 3/34

FI (5件)：

C02F 3/02 A ,  C02F 1/00 B ,  C02F 1/42 A ,  C02F 1/44 J ,  C02F 3/34 Z