特許
J-GLOBAL ID：200903089267239203

複合構造物作製装置

発明者：
清原 正勝

清原 正勝 について

, 
鳩野 広典

鳩野 広典 について


出願人/特許権者：
東陶機器株式会社

東陶機器株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-073441
公開番号（公開出願番号）：特開2004-277851
出願日： 2003年03月18日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】エアロゾルデポジション法において、構造物形成に与らないエアロゾル中の脆性材料微粒子を回収する。【解決手段】脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをノズルから基板に向けて噴射し、基板に脆性材料の構造物を形成するとともに、基板に衝突し構造物形成に寄与しなかったエアロゾルを粉体吸引筒を導入し、その下流に設置した粉体回収容器にて構造物形成に与らないエアロゾル中の脆性材料微粒子とガスを分離させることにより微粒子を回収する機構装置において、効率よく回収するための前記吸引筒の形状・設置方法及びその駆動が噴射ノズルの動きに追従することによってより効率的に回収できる。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
脆性材料微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを高速で基板に衝突させて脆性材料の構造物を作製する脆性材料構造物作製装置において、前記エアロゾルを高速で前記基板に向けて噴射するノズルと、前記エアロゾルと前記基板との衝突部位の近傍に前記基板に衝突した後に構造物の形成に与らないエアロゾルを吸入するための吸引筒が設置され、吸引した粉体を再利用して複合構造物を作製する装置において、前記吸引筒の粉体吸入のために前記ノズルと対向する吸引口は、前記基板表面と平行方向に幅広く形成されたことを特徴とする複合構造物作製装置。
IPC (2件)：
C23C24/04 ,  B01J19/00
FI (2件)：
C23C24/04 ,  B01J19/00 K
Fターム (19件)：
4G075AA24 ,  4G075AA27 ,  4G075BB05 ,  4G075BB08 ,  4G075BC10 ,  4G075CA51 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC01 ,  4G075ED15 ,  4G075EE02 ,  4G075EE12 ,  4G075FA12 ,  4G075FC20 ,  4K044BB01 ,  4K044BB11 ,  4K044CA21 ,  4K044CA29 ,  4K044CA71
引用特許：
審査官引用 (8件)
  • 特開平1-176466
  • ブラスト装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-195692   出願人：三菱重工業株式会社
  • 超微粒子成膜法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-210765   出願人：工業技術院長
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