特許

J-GLOBAL ID：200903089271595049

洗浄用隔壁支持具、洗浄支援構造体、洗浄装置および洗浄方法

発明者： 倉橋 恭子 ,  中川 泰夫 ,  平林 久明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-271447
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115867
出願日： 1995年10月19日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】バッチ式洗浄処理において、ウェハ表面から剥離した異物が、隣接するウェハの表面に再付着するのを防止するために、ウェハ間に挿入する隔壁を、清浄に保つ。【解決手段】隔壁10の間隔を変えることができる支持部材を用いて隔壁10を支持する。あるいは、隔壁10を長尺物のシートとし、ウェハの洗浄に使用済みの部分は巻き取り、未使用の部分がウェハ間に位置するようにする。

請求項（抜粋）：

複数の被洗浄物を並べて配置し、処理液に浸漬することにより、被洗浄物の表面を清浄にする洗浄装置に、上記被洗浄物の間を隔てるために用いられる洗浄支援構造体において、複数の隔壁と、該隔壁を支持する支持部材とを備え、上記支持部材は、上記隔壁の間隔を変えられるように構成されていることを特徴とする洗浄支援構造体。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/04 ,  B08B 11/02

FI (4件)：

H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/304 341 T ,  B08B 3/04 Z ,  B08B 11/02