特許
J-GLOBAL ID：200903089280954370
原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-338780
公開番号（公開出願番号）：特開平6-186027
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】試料やカンチレバーの交換やカンチレバーの変位検出系の調整等をトランスファーロッドのみで簡易に行なえる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】トランスファー治具44は、有底円筒形状の本体46とこの底面に取り付けた円盤40とを有している。本体46はその開口端に二つの突出部48を有し、この突出部48は内側に張り出した張出部50を有している。本体46の内側には磁石52と54が設けられている。カンチレバーホルダー56は、カンチレバー58を取り付ける斜面部と、ねじ部57とを有している。スキャナー24はベース60に固定された円筒型圧電アクチュエーター62を有している。その先端部には調整ねじ72が設けられ、その内部にコイルバネ66とホルダー受け68が収容されている。ベース60には光ファイバー76が挿入され固定されており、その先端部はホルダー受け68のねじ穴70を通って突出している。
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内に収容される原子間力顕微鏡であり、カンチレバーを保持したカンチレバーホルダーを着脱でき、装着されたカンチレバーを試料に対して走査するスキャナーを有し、カンチレバーホルダーはチャンバー内において進退および回転可能なトランスファーロッドを使用してスキャナーに着脱される原子間力顕微鏡において、カンチレバーホルダーを保持する手段を有している、トランスファーロッドの先端部に着脱可能なトランスファー治具と、カンチレバーホルダーを常に同じ方向を向けてスキャナーに取り付ける手段とを有していることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 11/30
, H01J 37/28
