特許

J-GLOBAL ID：200903089282859900

走査プローブ顕微鏡のサンプル・キャリッジ機構

発明者： デビッド・ウイリアム・エイブラハム ,  ジェームス・マイケル・ハモンド ,  マーティン・アレン・クロス ,  ケネス・ギルバート・ロッスラー ,  ロバート・マーシャル・ストウェル ,  ヘマンサ・クマー・ウィクラマシンジェ
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265966
公開番号（公開出願番号）：特開平6-207807
出願日： 1993年10月25日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：

【要約】【目的】 走査対象のサンプルを保持し、走査プローブ顕微鏡内に位置づけることができ、走査プローブ顕微鏡アセンブリからサンプルを物理的に切り離すために用いられるサンプル・キャリッジを提供する。【構成】 走査プローブ顕微鏡のサンプル・キャリッジ28は、走査プローブ・アセンブリを支持するブリッジ・プレート14、キャリッジ・ベース・プレート31、キャリッジ・ベース・プレート31上に配置されてサンプルを支持する位置決めプレート30、及びキャリッジ・ベース・プレート31をブリッジ・プレート14に解除可能に固定する手段32から成る。

請求項（抜粋）：

走査プローブ・アセンブリを支持するブリッジ・プレートと、キャリッジ・ベース・プレートと、上記キャリッジ・ベース・プレート上に配置されてサンプルを支持する位置決めプレートと、上記キャリッジ・ベース・プレートを上記ブリッジ・プレートに解除可能に固定する手段と、を含む、走査プローブ顕微鏡のサンプル・キャリッジ機構。

IPC (3件)：

G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-216749
  
• 特開平2-265154