特許
J-GLOBAL ID：200903089286623472
冷凍チャックテーブル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-288183
公開番号（公開出願番号）：特開平9-106966
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：
【要約】【課題】 ダイサー等の冷凍チャックテーブルにおいて、冷却効率を向上させるために少なくともテーブル本体とサーモモジュールとの間に隙間が生じないようにする。【解決手段】 半導体ウェーハ等の被加工物を凍結保持する冷凍チャックテーブルにおいて、この冷凍チャックテーブルは被加工物を保持するテーブル本体と、ペルチェ素子等からなるサーモモジュールと、このサーモモジュールの放熱側を冷却する冷却手段とから構成されており、冷却効率を向上させるために前記テーブル本体とサーモモジュールとの間に伝熱性ラバーを介在させる。更に、サーモモジュールと冷却手段との間にも伝熱性ラバーを介在させる。
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハ等の被加工物を凍結保持する冷凍チャックテーブルにおいて、この冷凍チャックテーブルは被加工物を保持するテーブル本体と、ペルチェ素子等からなるサーモモジュールと、このサーモモジュールの放熱側を冷却する冷却手段とから構成されており、冷却効率を向上させるために前記テーブル本体とサーモモジュールとの間に伝熱性ラバーを介在させたことを特徴とする冷凍チャックテーブル。
IPC (3件)：
H01L 21/301
, B23Q 3/08
, H01L 21/68
H01L 21/78 M
, B23Q 3/08 Z
, H01L 21/68 N
