特許

J-GLOBAL ID：200903089293760108

感光性樹脂組成物、その積層体、その硬化物及び該組成物を用いたパターン形成方法

発明者： 本田 那央 ,  浦田 昌彦
出願人/特許権者： 日本化薬株式会社 ,  マイクロケム コーポレイション
代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  亀岡 幹生 ,  安藤 克則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-194587
公開番号（公開出願番号）：特開2008-020838
出願日： 2006年07月14日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：

【課題】高解像性、高アスペクト比のパターンを形成でき、かつ高感度である感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】スルホニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤(A)と下記一般式(1)で表される多官能エポキシ樹脂(B)(式中R1、R2はそれぞれ独立に水素原子、またはメチル基を示し、t及びu並びにvはそれぞれ平均値であり独立に1以上の実数を表し、その和は3〜30の実数を表す)を含有してなる感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

スルホニウムトリス(ペンタフルオロエチル)トリフルオロホスフェートである光カチオン重合開始剤(A)と下記一般式(1)で表される多官能エポキシ樹脂(B)

IPC (4件)：

G03F 7/029 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  C08G 59/68

FI (4件)：

G03F7/029 ,  G03F7/038 503 ,  G03F7/004 512 ,  C08G59/68

Fターム (18件)：

2H025AA03 ,  2H025AB11 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BJ04 ,  2H025CA48 ,  2H025CB30 ,  2H025EA08 ,  2H025FA15 ,  2H025FA29 ,  4J036AD08 ,  4J036GA03 ,  4J036GA22 ,  4J036HA02 ,  4J036JA09

引用特許：

出願人引用 (10件)

• USP5502083
  
• USP5264325
  
• USP6368769 B1
  
• USP5102772
  
• USP4882245
  
• USP5026624
  
• USP5278010
  
• USP5304457
  
• USP4256828
  
• USP5726216
  

審査官引用 (1件)

• 予約の確保と解除の方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-050287   出願人：株式会社ソリトンシステムズ