特許

J-GLOBAL ID：200903089296869186

ネガ型感光性組成物

発明者： 落合 為一 ,  高橋 徳明 ,  亀山 泰弘
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 岡田 數彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-215803
公開番号（公開出願番号）：特開平5-034923
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物であって、前記樹脂が化学式[化2]で示される構造単位を有する重合体より成り、そして、当該重合体が化学式[化1]で示される構造単位を有する重合体のアルコキシカルボニル基の分解反応により合成されたものであることを特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】【化2】(上記の各式中、R1 は水素原子またはアルキル基を示し、R2 はアルキル基を示す)【効果】ディープUV領域の光を用いて露光を行なうネガ型フォトレジストとして使用した場合、露光がレジスト膜の下部まで達して充分に硬化させることができ且つ優れたパターンプロファイルを与えるネガ型感光性組成物が提供される。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤および酸性条件下で作用するアルカリ可溶性樹脂の架橋剤を含有するネガ型感光性組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂が以下の化学式[化2]で示されるビニルフェノール構造単位を有する重合体より成り、そして、当該重合体が以下の化学式[化1]で示される構造単位を有する重合体のアルコキシカルボニル基の分解反応により合成されたものであることを特徴とするネガ型感光性組成物。【化1】【化2】(上記の各式中、R1 は水素原子またはアルキル基を示し、R2 はアルキル基を示す)

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027