特許
J-GLOBAL ID：200903089298263986
気相蒸着法における金属塩化物の蒸発方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 弘男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-304448
公開番号（公開出願番号）：特開平8-158053
出願日： 1994年12月08日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：
【要約】【目的】 気相蒸着法により多孔質基板上に酸化物膜を形成する際に一定量の塩化物ガスを連続的に安定して蒸発させることができる金属塩化物の蒸発方法を提供すること。【構成】 気相蒸着法により多孔質基板4上に酸化物膜を形成する際に耐熱ボート21に充填した金属塩化物粉末25を加熱して金属塩化物ガスを蒸発する方法において、耐熱性セラミック粒24で周囲を囲繞した金属塩化物粉末25を前記耐熱ボート21の内側に充填し、その上部を耐熱性セラミック綿23で覆い、さらに該耐熱性セラミック綿23の上を多孔性セラミック板22で覆い、耐熱ボート21を加熱することにより金属塩化物ガスを蒸発させる。
請求項（抜粋）：
気相蒸着法により多孔質基板上に酸化物膜を形成する際に耐熱ボートに充填した金属塩化物粉末を加熱して金属塩化物ガスを蒸発する方法において、耐熱性セラミック粒で周囲を囲繞した金属塩化物粉末を前記耐熱ボートの内側に充填し、その上部を耐熱性セラミック綿で覆い、さらに該耐熱性セラミック綿の上を多孔性セラミック板で覆い、前記耐熱ボートを加熱することにより金属塩化物ガスを蒸発させることを特徴とする気相蒸着法における金属塩化物の蒸発方法。
IPC (2件)：
前のページに戻る
