特許

J-GLOBAL ID：200903089314660478

直列接続光起電力素子アレーの製造方法

発明者： 中川 克己
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117021
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316511
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 低コストで、かつ、信頼性が高い、高効率の太陽電池として使用できる直列接続光起電力素子アレーの製造方法を提供する。【構成】 本発明の直列接続光起電力素子アレーの製造方法は、第2電極の絶縁帯を形成する工程(α)が、該第2電極の堆積をした基板と、該第2電極の表面近傍で、かつ該第2電極の表面と対向する位置に設けた集中電界型の対向電極とを溶液中に浸し、第1電極と該対向電極との間に電圧を印加することによって行われることを特徴とする。また、光起電力層内の電気的欠陥個所を電気化学的に非活性化する工程(β)が、該第2電極の堆積をした基板と、該第2電極の表面と対向する位置に設けた平板状の対向電極とを溶液中に浸し、該第1電極と該対向電極との間に電圧を印加することによって行われることを特徴とする。さらに、前記αと前記βとを、同時に、又は連続して独立に、行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面が絶縁性を有する基体上に導電層を堆積する工程と、該導電層に溝を設け、電気的に分割された複数の第1電極を形成する工程と、第1電極の上に光起電力層を堆積する工程と、該光起電力層の上に透明性を有する電極層を堆積する工程と、該透明性を有する電極層の第1電極の溝の近傍に、該第1電極の溝と接することなく平行となる位置に絶縁帯を設け、電気的に分割された複数の透明な第2電極を形成する工程と、該第1電極の溝と該第2電極の絶縁帯の間をレーザー照射して、該光起電力層の一部に電気接続部を形成する工程とが、この順番で行われる直列接続光起電力素子アレーの製造方法において、該第2電極の絶縁帯を形成する工程(α)が、該第2電極の堆積をした基板と、該第2電極の表面近傍で、かつ該第2電極の表面と対向する位置に設けた集中電界型の対向電極とを溶液中に浸し、該第1電極と該対向電極との間に電圧を印加することによって行われることを特徴とする直列接続光起電力素子アレーの製造方法。

FI (2件)：

H01L 31/04 S ,  H01L 31/04 E