特許
J-GLOBAL ID:200903089321390214

高周波導入窓材

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-098684
公開番号(公開出願番号):特開平8-295567
出願日: 1995年04月24日
公開日(公表日): 1996年11月12日
要約:
【要約】【目的】導入窓の信頼性を格段に高められると同時に、より高電力のマイクロ波,ミリ波を導入,出力することができる高周波導入窓材を提供する。【構成】窒化珪素を主成分とし、不純物的酸素と周期律表第3a族化合物を含有する窒化珪素質焼結体からなり、相対密度が97%以上であり、かつ10GHzにおける誘電損失が1×10-3以下であり、焼結体中におけるアルミニウムの酸化物換算量が2重量%以下であり、かつ10GHzにおける誘電損失が5×10-4以下であることが望ましい。
請求項(抜粋):
窒化珪素を主成分とし、不純物的酸素と周期律表第3a族化合物を含有する窒化珪素質焼結体からなり、相対密度が97%以上であり、かつ10GHzにおける誘電損失が1×10-3以下であることを特徴とする高周波導入窓材。
IPC (2件):
C04B 35/584 ,  H01B 3/08
FI (3件):
C04B 35/58 102 C ,  H01B 3/08 ,  C04B 35/58 102 D
引用特許:
審査官引用 (2件)

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