特許
J-GLOBAL ID：200903089323249977
クリーンルーム内の気流調整装置及び運転停止後の清浄度維持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-042806
公開番号（公開出願番号）：特開平6-257813
出願日： 1993年03月03日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルーム内の気流分布を調整でき、また送風ファンの停止後でもクリーンルームの清浄度を維持できることを可能とする。【構成】 クリーンルーム1の上部にフィルター3を介して給気チャンバー4を設け、クリーンルーム1の下部に、床面となる多数のグレーチング5を設けると共にその下方に還気チャンバー6を形成し、上記給気チャンバー4からフィルター3を介してクリーンルーム1に流入し、グレーチング5を介して還気チャンバー6に流れるクリーンルーム1内の気流を調整するクリーンルーム内の気流調整装置において、各グレーチング5の下方に設けられそのグレーチング5の開口の開度を調整する可動シャッター16と、各グレーチング5の開口に臨んで設けられた風速計18と、その風速計18の検出値に応じて開度を調節すべく可動シャッターを駆動する駆動手段17とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
クリーンルームの上部にフィルターを介して給気チャンバーを設け、クリーンルームの下部に、床面となる多数のグレーチングを設けると共にその下方に還気チャンバーを形成し、上記給気チャンバーからフィルターを介してクリーンルームに流入し、グレーチングを介して還気チャンバーに流れるクリーンルーム内の気流を調整するクリーンルーム内の気流調整装置において、各グレーチングの下方に設けられそのグレーチングの開口の開度を調整する可動シャッターと、各グレーチングの開口に臨んで設けられた風速計と、その風速計の検出値に応じて開度を調節すべく可動シャッターを駆動する駆動手段とを備えたことを特徴とするクリーンルーム内の気流調整装置。
IPC (3件)：
F24F 7/06
, F24F 13/068
, F24F 13/12
