特許
J-GLOBAL ID：200903089323760523
再剥離型粘着性ポリマー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-192372
公開番号（公開出願番号）：特開平5-032946
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【構成】ウェハ貼着用粘着シートの粘着剤層として、ポリマーの側鎖または主鎖が、放射線重合性官能基を有する多官能性モノマーまたはオリゴマーと結合されてなり、該放射線重合性官能基が炭素-炭素二重結合を2個以上有し、放射線照射による体積収縮率が0.5%以上である粘着性ポリマーを用いる。【効果】貼付作業性および水平方向からの応力に対する抵抗性に優れたウェハ貼着用粘着シートが得られる。このような粘着シートは糊残りの発生を防止することができ、さらに、基材から粘着剤層に移行する添加剤に対し優れた耐久性を有する。
請求項（抜粋）：
ポリマーの側鎖または主鎖が、放射線重合性官能基を有する多官能性モノマーまたはオリゴマーと結合されてなり、該放射線重合性官能基が炭素-炭素二重結合を2個以上有し、放射線照射による体積収縮率が0.5%以上であることを特徴とする再剥離型粘着性ポリマー。
IPC (4件)：
C09J133/06 JDD
, H01L 21/52
, H01L 21/68
, H01L 21/78
