特許
J-GLOBAL ID:200903089327629600

積層電子部品の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 菅原 正倫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-165906
公開番号(公開出願番号):特開2002-359146
出願日: 2001年05月31日
公開日(公表日): 2002年12月13日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 高容量化・小型薄肉化が求められる積層セラミックコンデンサ等の積層電子部品の製造にて、内部電極をつなぐビア電極を容易に形成し、グリーンシートの多層化及び薄肉化に拘わらず、反りが生じにくい手法を提供する。【解決手段】第1の積層部7側のビアホール2及び連結ビアホールと、第2の積層部24側の連結ビアホールとを、それらの積層部7、24の圧着により、中間積層グリーン体28の全体に統合した連結ビアホール30とした上で、まとめて1度にビア電極30を形成する。また、第1の積層部7と第2の積層部24とをそれぞれ積層して作製することにより、積層階層の工程履歴の不均一が減少する。それら第1及び第2の積層部ブロック体7及び24を、ベース部となるシート面とは反対側の積層部面同士を向かい合わせに圧着することにより、各積層階層における密度差等の物性の差が実質的に相殺され製品の反り等を生じにくくする。
請求項(抜粋):
所定数の誘電層となるシートと所定数の内部電極とを交互に積層した積層部と、その積層部を支持するベース部と、所定の内部電極間を接続するためのビア電極とを一体化してなる積層体からなる積層電子部品の製造方法であって、所定位置にビアホールが予め形成された前記ベース部となるシート上に、所定位置に予めビアホールが形成された積層用のシートと内部電極とを交互に複数積層して中間積層体を形成する工程と、その積層により前記中間積層体における各シートのビアホールが連結して該中間積層体の積層方向に形成された連結ビアホールに、導電物を充填してビア電極を形成して、積層体を得る工程と、を含むことを特徴とする積層電子部品の製造方法。
IPC (2件):
H01G 4/30 311 ,  H01G 4/30
FI (2件):
H01G 4/30 311 D ,  H01G 4/30 311 F
Fターム (4件):
5E082AB03 ,  5E082BC33 ,  5E082FG06 ,  5E082FG26

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