特許
J-GLOBAL ID：200903089343811159
シリコン単結晶引上げ装置のカバー付熱遮蔽部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051443
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247775
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：
【要約】【課題】熱遮蔽部材より安価なカバーによりその筒部下部の劣化を抑制して熱遮蔽部材の寿命を長くする。【解決手段】チャンバ11内に設けられた石英るつぼ13にシリコン融液12が貯留され、シリコン融液12から引上げられるシリコン単結晶棒25の外周面を包囲しかつ下端がシリコン融液12表面から間隔をあけて位置する筒部37を有する熱遮蔽部材36が設けられる。筒部37の下端を覆う高融点金属製のカバー44が筒部の下部に取外し可能に取付けられる。筒部の下端に内側上方に向うに従って直径が小さくなる放熱抑制部39が連設され、カバーが筒部の下部周囲を包囲する包囲部44aとその放熱抑制部を覆う底壁44bとを有する。筒部の下部と包囲部にそれぞれ複数対の孔37b,44cが形成され、その孔に高融点金属製のワイヤ43を挿通してねじり止めしてカバーが取付けられる。
請求項（抜粋）：
石英るつぼ(13)に貯留されたシリコン融液(12)からシリコン単結晶棒(25)を引上げる装置に設けられ、前記シリコン単結晶棒(25)の外周面を包囲しかつ下端が前記シリコン融液(12)表面から間隔をあけて上方に位置しヒータ(18)からの輻射熱を遮る筒部(37)を有する高融点金属製の熱遮蔽部材において、前記筒部(37)の下端を覆う高融点金属製のカバー(44,45)が前記筒部(37)の下部に取外し可能に取付けられたことを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置のカバー付熱遮蔽部材。
Fターム (8件)：
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077EG18
, 4G077EG19
, 4G077FK18
, 4G077HA12
, 4G077PE22
, 4G077PE27
