特許

J-GLOBAL ID：200903089351458000

カンチレバー走査プローブ顕微鏡

発明者： ヘルマン ルドルフ ,  石田 耕三 ,  岸本 俊彦 ,  冨田 勝彦
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-051019
公開番号（公開出願番号）：特開平9-218211
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】 所定の分解能を維持しつつ比較的短時間で走査することができるカンチレバー走査プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 複数のカンチレバー8を縦横に設け、これらのカンチレバー8のそれぞれ揺動端の下面に尖端部10を形成するとともに、カンチレバー8の揺動端側の上面に前記尖端部10に対応するようにしてミラー11を設け、前記尖端部側を試料1の検査対象面に当接させるように載置した状態で、前記ミラー11に対して、干渉計に接続された一方の光ファイバ12から光を照射し、そのときの反射光を前記干渉計に接続された他方の光ファイバ13に入射させるようにした。

請求項（抜粋）：

複数のカンチレバーを縦横に設け、これらのカンチレバーのそれぞれ揺動端の下面に尖端部を形成するとともに、カンチレバーの揺動端側の上面に前記尖端部に対応するようにしてミラーを設け、前記尖端部側を試料の検査対象面に当接させるように載置した状態で、前記ミラーに対して、干渉計に接続された一方の光ファイバから光を照射し、そのときの反射光を前記干渉計に接続された他方の光ファイバに入射させるようにしたことを特徴とするカンチレバー走査プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  H01L 21/66 J