特許
J-GLOBAL ID:200903089359906826

差圧センサの検出回路

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 春日 讓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-068679
公開番号(公開出願番号):特開平5-273068
出願日: 1992年03月26日
公開日(公表日): 1993年10月22日
要約:
【要約】【目的】 差圧センサの検出回路において、定電流源の電流値の調整を不要とし、構成が簡単な信号処理回路を有し、高精度な検出を可能する。【構成】 2つの異なる圧力に感応し、2つの圧力の差を計測する差圧センサであり、ダイヤフラム基体1に2つの圧力のそれぞれを受ける2つの起歪部2,3を形成し、2つの起歪部のそれぞれに、その受圧面と反対側の面に、圧力の大きさに応じて正方向に抵抗変化する2つの歪みゲージ4b,4d,5a,5cと負方向に抵抗変化する2つの歪みゲージ4a,4c,5b,5dを設け、第1の起歪部の正方向に抵抗変化する歪みゲージと第2の起歪部の負方向に抵抗変化する歪みゲージとを直列に接続する第1の枝路8Aを形成し、第1の起歪部の負方向に抵抗変化する歪みゲージと第2の起歪部の正方向に抵抗変化する歪みゲージとを直列に接続する第2の枝路8Bを形成し、第1及び第2の枝路を隣接状態で組み合わせて差圧検出用ブリッジ回路を形成する。
請求項(抜粋):
2つの異なる圧力に感応し、前記2つの圧力の差を計測する差圧センサにおいて、圧力検出部材に前記2つの圧力のそれぞれを受ける2つの起歪部を形成し、2つの前記起歪部のそれぞれの、その受圧面と反対側の面に、圧力の大きさに応じて正方向に歪む場所に2つの歪みゲージを設け、負方向に歪む場所に2つの歪みゲージを設け、第1の前記起歪部の正方向に抵抗変化する歪みゲージと第2の前記起歪部の負方向に抵抗変化する歪みゲージとを直列に接続する第1の枝路を形成し、第1の前記起歪部の負方向に抵抗変化する歪みゲージと第2の前記起歪部の正方向に抵抗変化する歪みゲージとを直列に接続する第2の枝路を形成し、前記第1及び第2の枝路を隣接状態で組み合わせて差圧検出用ブリッジ回路を形成したことを特徴とする差圧センサの検出回路。

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