特許

J-GLOBAL ID：200903089360530163

投影光学系の検査方法及びその検査に用いられる 照明光学系

発明者： 蛭川 茂 ,  白石 直正
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-200073
公開番号（公開出願番号）：特開平9-049784
出願日： 1995年08月04日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】 瞳フィルターを装着したまま投影レンズの検査、調整を行うことができるようにする。【解決手段】 瞳フィルター112を装着した投影レンズにより、テストレチクル109上の検査用パターン110をウエハ114上の投影して、投影レンズの収差を検査する。その際、照明光学系中に設けられた開口絞り105の形状を検査用パターンの方向性に応じて変化させ、瞳フィルター112の中心領域の遮光部又は位相反転部を通過する照明光を除去するようにする。

請求項（抜粋）：

検査用パターンを投影することによる投影光学系の検査方法において、前記投影光学系は光学特性が異なる領域を有する光学フィルターを装着しており、前記光学フィルターの光学特性が同じ領域を通過した光線によって前記検査用パターンの像を形成することを特徴とする投影光学系の検査方法。

IPC (4件)：

G01M 11/02 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G01M 11/02 B ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 516 C