特許
J-GLOBAL ID：200903089363052238
静電式リニアアクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-251746
公開番号（公開出願番号）：特開平8-116686
出願日： 1994年10月18日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】可動子に対するリード線の引出しを不要にして配線構造の簡易化,およびアクチュエータ動作の円滑化を図り、併せて電極に対する絶縁膜処理の省略を可能にした製作の容易な静電式リニアアクチュエータを提供する。【構成】可動子3の上下に空隙を隔てて対向する固定子1,および支えばね4で往復動可能に弾性支持された搬送子2と、固定子側に設けた分割電極7a〜7cからなる可動子吸着電極7と、搬送子の左右両側に空隙を隔てて対向する一対の搬送子駆動電極5,6と、搬送子の往復動範囲を規制して搬送子駆動電極と搬送子との接触を避けるストッパ10とでアクチュエータを構成し、ここで、搬送子との間に電圧を印加する前記分割電極の数を切換えることにより、可動子に電圧を直接加えずに可動子を固定子,搬送子へ交互に吸着させ、この固定子吸着動作と搬送子の往復動と組合わせて可動子を定方向に歩進移動させる。
請求項（抜粋）：
電圧印加による静電力を駆動源として短冊状の可動子を定方向に歩進移動させる静電式リニアアクチュエータであって、前記可動子を挟んでその上下側に空隙を隔てて対向する固定子,および可動子の移動方向と平行な方向へ往復動可能に弾性支持された搬送子と、固定子の可動子との対向面に設けた可動子吸着電極と、前記搬送子を挟んでその左右両側に空隙を隔てて対向する一対の搬送子駆動電極とからなり、かつ固定子に設けた可動子吸着電極を複数の電極に分割するとともに、分割電極のうちの少なくとも一つは搬送子の対可動子対向面積よりも小であり、各分割電極を合計した面積を搬送子の対可動子対向面積よりも大に設定したことを特徴とする静電式リニアアクチュエータ。
IPC (4件)：
H02N 13/00
, B25J 7/00
, B25J 19/00
, B65G 54/02
