特許
J-GLOBAL ID：200903089366592144
静圧流体軸受の駆動構造
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-315079
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346120
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【構成】静圧流体軸受の駆動構造において、ガイド軸1と摺動体2の間に位置検出用エンコーダ8を備えるとともに、その両側に駆動用リニアモータ5を配置する。【効果】駆動用リニアモータ5が摺動体2の重心に近く、かつ二本配置してあるため駆動バランスがよく、ヨーイング方向のエラーをなくして精密駆動が可能となる。また、摺動体2の位置検出用エンコーダ8を摺動体2内側の重心に近い位置に配置してあるため、エラーの少ない位置検出ができ、摺動体2の精密な位置決めが可能となる。さらに、駆動系と検出系をともに摺動体2の内側に備えたため、装置全体を小型化できる。
請求項（抜粋）：
ガイド軸上で摺動体を静圧流体によって支持してなる静圧流体軸受装置において、上記ガイド軸と摺動体の間に上記摺動体の位置検出用エンコーダを備えるとともに、該位置検出用エンコーダの両側に摺動体の駆動用リニアモータを配置したことを特徴とする静圧流体軸受の駆動構造。
IPC (2件)：
引用特許：
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