多孔質静圧気体軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田武志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-021466
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214290
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】軽量の可動体であってもこれを安定に位置決めすることができる上に、可撓性を有した可動体であっても変形を生じさせないでこれを滑らかに移動させることができる軸受パッド及びこれを用いた静圧気体軸受機構を提供すること。【解決手段】静圧気体軸受機構1は、可動体としてのガラス板2と、ガラス板2の可動方向であるX方向を規定する固定体としての案内レール3と、ガラス板2を案内レール3に対してX方向に移動自在に保持すベくガラス板2の下面4と案内レール3の上面5との間に分散して介在された複数の軸受パッド6とを具備している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

可動体を固定体に対して移動自在に保持すベく可動体と固定体との間に介在させる多孔質静圧気体軸受パッドであって、可動体に隙間をもって対面するための平坦面を有しており、この平坦面は、多数の細孔の開口を夫々有した第一及び第二の多孔面と、この第一の多孔面に対して第二の多孔面を隔離する隔壁の端面とを有しており、第一の多孔面の各開口には、当該各開口から高圧空気を隙間に供給すべく高圧空気供給手段が連通されており、第二の多孔面の各開口には、当該各開口から隙間の空気を吸引すべく空気吸引手段が連通されており、第二の多孔面は、第一の多孔面と実質的に面一になっている多孔質静圧気体軸受パッド。

IPC (1件)：

F16C32/06

FI (2件)：

F16C32/06 A , F16C32/06 B

Fターム (9件)：

3J102AA02 , 3J102BA05 , 3J102CA10 , 3J102EA02 , 3J102EA06 , 3J102EA18 , 3J102FA01 , 3J102FA05 , 3J102FA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

静圧気体軸受
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-030854 出願人：日本精工株式会社

審査官引用 (6件)

非接触支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-315641 出願人：シーケーディ株式会社
静圧スライダ、非接触式チャック及びチャック装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-265347 出願人：シーケーディ株式会社
静圧軸受
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-174373 出願人：日本精工株式会社

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