特許

J-GLOBAL ID：200903089373146559

感光性組成物

発明者： 三宅 秀夫 ,  栗田 広道 ,  白石 裕一 ,  川村 浩一
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-259915
公開番号（公開出願番号）：特開平6-107718
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：

【要約】【目的】 実質的に有機溶媒を含まない現像液で現像しても、不溶物が堆積することのない感光性組成物を提供する。【構成】 感光性組成物に使用する増感剤として一般式:【化1】で示される、現像液に対する高い溶解性を有する化合物を使用する。ここで、Z、Y又はR1は、-COOH、-NHSO2R4 、-CONHCOR4又は-CONHSO2R4 を含む。

請求項（抜粋）：

(a) 光二量化可能な不飽和結合を有する光架橋性重合体と、(b) 下記一般式(I)で表わされる増感剤と、を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(式中、Zは窒素を含むヘテロ環核を形成するのに必要な非金属原子群を示し;Yは環を形成するのに必要な非金属原子群を示し;R1 はアルキル基又は置換アルキル基を示し;R2 及びR3 は、それぞれ水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、又はハロゲン原子を示し;Z、Y及びR1 のいずれか1つ以上が、1つ以上の COOH 基、 NHSO2R4基、 CONHCOR4 基又は CONHSO2R4基を含み;R4 はアルキル基、芳香族基又は芳香族アルキル基を示し;nは、0から4までの整数を示す。)

IPC (5件)：

C08F 2/50 MDN ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 504 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/027