基板の搬送装置及び搬送方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003798
公開番号（公開出願番号）：特開平9-191040
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】基板の搬送姿勢を安定にし、引っかかりをなくして搬送するとともに、塵の発生を無くした基板の搬送装置を提供する。【解決手段】基板101を略水平方向に搬送するための基板の搬送装置であって、基板101を保持すると共に、基板の裏面側に突出し、上下に離間して配置された第1及び第2の係合ピン104,105を有する基板保持板102と、略水平方向に延出して配置されると共に、第2の係合ピン105を支持し、所定のピッチ距離だけ水平方向に往復運動する搬送バー13と、略水平方向に延出して配置されると共に、第1の係合ピン104を支持し、所定高さだけ上下方向に往復運動する保持バー12とを具備する。

請求項（抜粋）：

基板を略水平方向に搬送するための基板の搬送装置であって、前記基板を保持すると共に、該基板の裏面側に突出し、上下に離間して配置された第1及び第2の係合部を有する基板保持部材と、略水平方向に延出して配置されると共に、前記第2の係合部を支持し、所定のピッチ距離だけ水平方向に往復運動する搬送バーと、略水平方向に延出して配置されると共に、前記第1の係合部を支持し、所定高さだけ上下方向に往復運動する保持バーとを具備することを特徴とする基板の搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , G02F 1/1333 500

FI (2件)：

H01L 21/68 A , G02F 1/1333 500

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