特許
J-GLOBAL ID：200903089374718203
シーケンス制御装置およびそれを用いた半導体製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-007147
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216114
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】本発明は、シーケンス制御装置およびそれを用いた半導体製造装置において、シーケンスを管理および作成する上で容易な構造とすることにより、負担の軽減と同時に、生産性や稼働率の向上を図ることを最も主要な特徴とする。【構成】たとえば、時間管理が可能なサブシーケンスを親となるシーケンスに組み込むことができる処理プログラム「EDiT」を、第2の記憶部27内に用意する。プロセスプログラムを作成する際に、この処理プログラム「EDiT」を中央処理ユニット21で読み出して起動させる。そして、シーケンスの組み直しなど、元のシーケンスを変更することなく、設定されるサブシーケンスを親となるシーケンスの下に組み込むことで、同一機能の複数のシーケンスを1つにまとめて管理できるプロセスプログラムを実現する構成となっている。
請求項（抜粋）：
1サイクルが複数個に分割されたシーケンスから構成され、かつ、前記シーケンスのいくつかは時間によって管理されるシーケンス制御装置において、前記シーケンスを管理する管理手段と、この管理手段で管理されるシーケンスの少なくとも1つに対し、設定可能な固有の時間を有するとともに、そのシーケンス内にて複数の制御機器の制御を行わしめる手段を備えるサブシーケンスを組み込む処理手段と、この処理手段で組み込まれる前記サブシーケンスの、シーケンス時間を計数制御する演算手段とを具備したことを特徴とするシーケンス制御装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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