特許
J-GLOBAL ID：200903089384114233
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-241290
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119876
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：
【要約】【課題】 実用上充分に高い信頼性を安定して保持するとともに、圧力センサの高感度な性能を常に確保する。【解決手段】 2個の感圧素子(2、3)を、同一方向の面が同一の極性となるように配置し、2個の入口ノズル(39、40)から流体圧力を、一方の感圧素子の第1の面と他方の感圧素子の第2の面、および他方の感圧素子の第1の面と一方の感圧素子の第2の面にそれぞれ導入し、感圧素子(2、3)を挟持するホルダ(12、13、14、15)の挟持面(12a 、13a 、14a 、15a )が傾斜していることを特徴とする圧力センサ(1)。
請求項（抜粋）：
2個の感圧素子を、それぞれ2個一対のホルダで両面から挟持して張設した圧力検出部を備え、前記2個の感圧素子は同一の方向に向きかつ同一方向の面が同一の極性となるように配置され、前記圧力検出部には流体の圧力を導入する2個の入口ノズルが設けられ、一方の入口ノズルが第1の流体圧力導入経路を介して一方の感圧素子の第1の面に連通されるとともに第4の流体圧力導入経路を介して前記一方の感圧素子の第1の面とは極性が異なる他方の感圧素子の第2の面に連通され、他方の入口ノズルが第2の流体圧力導入経路を介して前記一方の感圧素子の第2の面に連通されるとともに第3の流体圧力導入経路を介して前記他方の感圧素子の第1の面に連通された圧力センサであって、前記感圧素子を挟持するホルダの挟持面が傾斜していることを特徴とする圧力センサ。
IPC (4件)：
G01L 9/08
, G01F 1/20
, G01F 1/32
, G01L 19/00
G01L 9/08
, G01F 1/20 E
, G01F 1/32 E
, G01L 19/00 A
