照明装置及び投影露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-308186
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176766
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】所定面において種々の光強度分布を形成できる照明装置等を提供すること。【解決手段】所定のパターンが形成されたマスク14を照明する照明装置において、光束を供給する光源部1と、該光源部からの光束を波面分割するように回折させる回折光学素子51,52,53と、回折した光束を所定面上で互いに重畳させるとともに所定面上で所定の断面形状の光束に変換するリレーレンズ7と含む光束変換部と、光束変換部により回折された光束に基づいて実質的な面光源を形成するオプティカルインテグレータ8と、オプティカルインテグレータからの光束をマスクヘ導くコンデンサ光学系12等を備え、回折光学素子51,52,53の回折特性は、所定面における光強度分布を変更可能にするために変更可能に構成されている。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成されたマスクを照明する照明装置において、光束を供給する光源部と;該光源部からの光束を波面分割するように回折させる回折光学素子と、該回折光学素子からの回折光を所定面上で重畳させ該所定面上で所定の断面形状の光束に変換する光学要素とを含む光束変換部と;前記光束変換部からの光束に基づいて実質的な面光源を形成するオプティカルインテグレータと;該オプティカルインテグレータからの光束を前記マスクへ導く光学系と;を備え、前記回折光学素子の回折特性は、前記所定面上における光強度分布を変更可能にするために変更可能であることを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

Fターム (7件)：

5F046BA04 , 5F046CA04 , 5F046CB05 , 5F046CB10 , 5F046CB12 , 5F046CB13 , 5F046CB23

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