特許
J-GLOBAL ID:200903089397605694
固体レーザー発振器の発振器長さ調整法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
鎌田 文二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-239867
公開番号(公開出願番号):特開平5-082868
出願日: 1991年09月19日
公開日(公表日): 1993年04月02日
要約:
【要約】【目的】 共振器長さを、両端の平面反射鏡でのスポットサイズが最小径となるように予め所定の演算により求めておきその演算結果に基づく位置に固体レーザー媒質を設定して共振器内に口径の小さな変調器等の挿入を可能とする。【構成】 固体レーザー発振器は、レーザーダイオード励起光Aを透過し固体レーザー光を反射するコーティングを平面反射鏡1として施した固体レーザー媒質2と、非点収差補正及び熱レンズ効果補正のための凹面鏡3を角度θ傾けて設け、その反射光を反射する出力側の平面反射鏡4から成る。固体レーザー媒質2のロッドはスライダ7上に設けられ、差動マイクロメータヘッド8により微動自在であり、CCDカメラ9によるスポットサイズ2ω2 を測定しながら2ω1 、2ω2 が最小となる位置に設定する。スポットサイズ2ω1 、2ω2 はガウシアンビームのABCD則による所定の演算により最小径となるように固体レーザー媒質2を設定する。
請求項(抜粋):
所定波長の半導体レーザー励起光を透過し固体レーザー光を反射するコーティングを一端に施した平面反射鏡を備え他端をブルースター角でカットした出力面を有する固体レーザー媒質と、この固体レーザー媒質からの固体レーザー光を所定角度傾けて反射する凹面鏡と、レーザー出力用平面反射鏡とから成る固定レーザー発振器の発振器長さを、予め非点収差補正と熱レンズ効果補正を考慮した所定の演算によって得られる上記両平面反射鏡での固体レーザー光のスポットサイズが最小径となるように、出力用平面反射鏡でのスポットサイズ径をビーム径測定部で測定しながら入射側平面反射鏡の位置を微動させて調整するようにして成る固体レーザー発振器の発振器長さ調整法。
IPC (2件):
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