特許
J-GLOBAL ID：200903089400615540
水晶振動子およびその周波数調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-059771
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243885
出願日： 1991年02月28日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】[目的]金属容器に気密に封止した後に周波数の微調整の可能な水晶振動子およびその周波数調整方法を提供する。[構成]所定の共振周波数に成形され板面に電極を形成した水晶片を気密な金属容器に収納して上記電極を金属容器を貫通する端子を介して外部へ導出するものにおいて、端子と金属容器との間に印加する電圧によって上記電極の材料を上記金属容器の内壁へスパッタさせて電極の質量の減少を可能とするように金属容器の内部にスパッタ可能なガスを1×10-1Torrないし1×10-2Torrの圧力に充填する。
請求項（抜粋）：
所定の共振周波数に成形され板面に電極を形成した水晶片を気密な金属容器に収納して上記電極を金属容器を貫通する端子を介して外部へ導出するものにおいて、上記端子と金属容器との間に印加する電圧によって上記電極の材料を上記金属容器の内壁へスパッタさせて電極の質量を減少させるように金属容器の内部にスパッタ可能なガスを1×10-1Torrないし1×10-2Torrの圧力に充填したことを特徴とする水晶振動子。
IPC (3件)：
H03H 3/04
, H03H 9/02
, H03H 9/19
