特許

J-GLOBAL ID：200903089402170154

セラミツクス製動圧軸受及びその溝加工方法

発明者： 野田 ゆみ子 ,  佐藤 良雄 ,  神谷 一郎 ,  利光 学 ,  新荘 良一
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340408
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033809
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：

【要約】【目的】 流体動圧発生溝の加工面から発生する微粒子量を減少或はなくすことができ、且つ流体動圧発生溝の形成後にセラミック素材を加工することがないセラミックス製動圧軸受及びその溝加工方法を提供すること。【構成】 SiC,Si3N4,Al2O3のセラミックス製軸受基体1の摺動面1aにYAGパルスレーザ光を照射して、該摺動面に動圧発生溝を形成すると共に、該動圧発生溝2の内表面にセラミックス製軸受基体1の母材であるセラミックス材を溶融凝固させてなる改質層2aを形成した。

請求項（抜粋）：

セラミックス製軸受基体の摺動面に所定形状の動圧発生溝を形成してなるセラミックス製動圧軸受において、上記動圧発生溝の内表面に前記セラミックス製軸受基体の母材であるセラミックス材を溶融凝固させてなる改質層を形成したことを特徴とするセラミックス製動圧軸受。

IPC (5件)：

F16C 17/04 ,  B23K 26/00 ,  F16C 33/14 ,  F16C 33/24 ,  B28B 11/12