特許

J-GLOBAL ID：200903089408536207

強誘電体赤外線検出器及びその作動方法

発明者： 柳 寅 敬
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000228
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205950
出願日： 1999年01月04日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 強誘電体をゲート酸化物として採用した電界効果トランジスタを赤外線検出器として使用する強誘電体赤外線検出器及びその作動方法を提供する。【解決手段】 半導体チャンネルが形成されたトランジスタ基板と、チャンネル上に積層された強誘電体層と、強誘電体層上に積層された電極と、電極上に積層された赤外線吸収層と、順次積層された強誘電体層、電極及び赤外線吸収層の縁部と半導体チャンネル両側のドーピング領域上に形成されたトランジスタ電極とを各々隔離するための絶縁層とを備える。

請求項（抜粋）：

半導体チャンネルが形成されたトランジスタ基板と、前記チャンネル上に積層された強誘電体層と、前記強誘電体層上に積層された電極と、前記電極上に積層された赤外線吸収層と、前記順次積層された強誘電体層、電極及び赤外線吸収層の縁部と前記半導体チャンネル両側のドーピング領域上に形成されたトランジスタ電極とを各々隔離するための絶縁層と、を備えた赤外線検出器。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  H01L 37/02

FI (2件)：

G01J 1/02 Y ,  H01L 37/02

Fターム (6件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA02 ,  2G065BA14 ,  2G065BC33 ,  2G065BE08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公平8-002095
  
• スイッチング電源保護回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-105926   出願人：ソニー株式会社
• 保護回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-122955   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭62-286757