特許
J-GLOBAL ID：200903089410832107
流量制御装置の診断装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-033961
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232714
出願日： 1997年02月18日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置等でガス等の流量を制御する流量制御装置(マスフローコントローラ)の動作異常を早期に検出するとともに、異常内容,異常原因等を推定できる診断装置を提供する。【解決手段】 流量制御装置内の流量センサで検出した流量を診断装置5Aへ供給する。予測流量推移演算部51は、設定流量変更前後の流量設定データ23cと予め登録した流量制御装置の応答特性とに基づいて、設定流量変更時の予測流量推移51aと許容範囲51bを演算によって求める。流量推移監視部52は、流量測定データ21cに基づいて測定流量推移を監視し、測定流量が許容範囲からはずれた場合は異常検出出力52aを発生する。異常内容判断部53は、予測流量推移51aと測定流量推移との相違に着目して異常内容を判断する。異常検出出力52aに基づいて警報を発するとともに、モニタ画面上に異常内容を表示させる。
請求項（抜粋）：
流量設定値を変更した際の測定流量推移と想定した予測流量推移とに基づいて流量制御装置の動作を診断することを特徴とする流量制御装置の診断装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G05D 7/00 Z
, H01L 21/02 Z
