特許

J-GLOBAL ID：200903089418595333

短波長光発生装置

発明者： 真峯 隆義
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-073649
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211899
出願日： 1998年03月23日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 逆コンプトン散乱効果を利用して大収量の短波長光を発生させること。【解決手段】 本発明の短波長光発生装置1は、少なくとも1対の凹面鏡M10、M20から成る反射手段と、反射手段にレーザ光Lを入射するレーザ光源2と、レーザ光源2から入射され反射手段で収束かつ反復反射しているレーザ光Lに向けて電子ビームe- を入射する電子ビーム発生部3とを備えている。

請求項（抜粋）：

少なくとも1対の凹面鏡から成る反射手段と、前記反射手段に光を入射する発光手段と、前記発光手段から入射され前記反射手段で収束かつ反復反射している光に向けて電子ビームを入射する電子ビーム発生手段とを備えていることを特徴とする短波長光発生装置。

IPC (3件)：

G21K 5/02 ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G21K 5/02 Z ,  G03F 7/20 503 ,  H01L 21/30 531 S