特許

J-GLOBAL ID：200903089420426824

イオン注入装置におけるウェーハ温度検出装置

発明者： 高山 誠治 ,  矢野 孝幸 ,  鈴木 聰 ,  米良 和夫 ,  冨田 博之
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110005
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306541
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 イオン注入装置内に載置されたウェーハの温度を正確に、しかもインサイチューで検出することが可能なウェーハ温度検出装置を提供することである。【解決手段】 イオン注入装置内の被イオン注入ウェーハ20を載置する回転円盤10上に載置され、被イオン注入ウェーハ20とほぼ同一の材料からなるダミー材1と、このダミー材1の裏面に設けられた熱電対2と、を有することを特徴とするイオン注入装置におけるウェーハ温度検出装置。

請求項（抜粋）：

イオン注入装置におけるウェーハ温度検出装置であって、前記イオン注入装置内の被イオン注入ウェーハを載置する回転円盤上に載置され、該被イオン注入ウェーハとほぼ同一の材料からなるダミー材と、該ダミー材に設けられた温度検出手段と、を有することを特徴とするイオン注入装置におけるウェーハ温度検出装置。

IPC (2件)：

H01J 37/317 ,  H01L 21/265

FI (2件)：

H01J 37/317 Z ,  H01L 21/265 T

Fターム (4件)：

5C034CC07 ,  5C034CC19 ,  5C034CD06 ,  5C034CD09