特許

J-GLOBAL ID：200903089421447132

防着板及び内部治具

発明者： 渡辺 友治 ,  森 重哉 ,  奥村 勝弥
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-034759
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235149
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】本発明は、付着する強い内部応力を有する膜においても剥離しずらく、放出ガスの少ない軽量な防着板や内部治具を提供することを目的とする。【構成】本発明の防着板及び内部治具は、所定雰囲気内で薄膜形成する装置に装着され、被処理基板以外の不所望の領域に成膜を防止するための防着手段として、母材の表面に露出するようにSiC層が形成される防着板及び内部治具である。

請求項（抜粋）：

被処理基板以外の不所望の領域に成膜を防止するための防着手段を具備する所定雰囲気内で薄膜形成する装置において、表面粗度を有するSiC層を表面に露出することを特徴とする防着板及び内部治具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  C23C 14/04 ,  H01L 21/203

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-015913
  
• 特開昭63-145438
  
• 特開昭63-012725