特許
J-GLOBAL ID：200903089431318403
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安孫子 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-196520
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019198
出願日： 1998年06月29日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構成により、錘体と電極との間隔を確実に一定に保持し、出力特性の安定化及び信頼性の向上を図る。【解決手段】 中央支持柱6から延設されたトーションバー7a,7bは、錘体3に一体となっており、中央支持柱6の両端面は、第1及び第2のガラス基板1,2に接合されることで、錘体3は、トーションバー7a,7bにより第1及び第2のガラス基板1,2の間で変位可能となっている。そして、錘体3には、複数の副貫通孔9a〜9dが穿設されると共に、この副貫通孔9a〜9dには、それぞれ副支持柱10a〜10dが遊貫され、その両端面は、第1及び第2のガラス基板1,2に接合されており、これら副支持柱10a〜10dにより、第1及び第2のガラス基板1,2の間隔が確実に一定に保持されるようになっている。
請求項（抜粋）：
対向する平面側に電極が配設された2つの絶縁基板の間に、半導体部材からなる錘体が、外部から作用する力に応じて、前記電極との間隔が変化するように設けられてなる加速度センサにおいて、前記錘体を貫通し、端面が前記2枚の絶縁基板に接合された複数の支持柱を設けたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA22
, 4M112CA24
, 4M112CA36
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA13
, 4M112FA05
, 4M112FA07
, 4M112FA20
