透過照明型微分干渉顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：猪熊克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-036664
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218680
出願日： 1998年02月02日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】いかなるコンデンサレンズと対物レンズとが用いられた場合においても、像全体が劣化の少ない高コントラストで良好な微分干渉像を得る。【解決手段】照明側複屈折光学部材(N1)により分離された偏光成分で被検物(4)を照明し、被検物(4)を透過した偏光成分を結像側複屈折光学部材(N2)に集光させて1つの光束に合成し、検光子(A)に入射させて偏光干渉させ、干渉した光束により被検物(4)の対物レンズ(5)による像を結像する微分干渉顕微鏡において、照明側複屈折光学部材(N1)と結像側複屈折光学部材(N2)とは、両複屈折光学部材(N1、N2)の光線分離面がコンデンサレンズ(3)と対物レンズ(5)とに関して互いに共役な関係となるように構成されたことを特徴とする透過照明型微分干渉顕微鏡である。

請求項（抜粋）：

所定の振動方向を持つ偏光光を少なくとも2つの楔形プリズムを接合してなる照明側複屈折光学部材へ入射させて偏光方向が互いに直交する2つの直線偏光成分に分離し、分離された該2つの直線偏光成分をコンデンサレンズを経由させて被検物へ導き、該被検物を透過した前記2つの直線偏光成分を対物レンズを経由させて少なくとも2つの楔形プリズムを接合してなる結像側複屈折光学部材へ導いて1つの光束に合成し、合成された光束を検光子に入射させて前記2つの直線偏光成分を偏光干渉させ、干渉した光束により前記被検物の前記対物レンズによる像を形成する微分干渉顕微鏡において、前記照明側複屈折光学部材と前記結像側複屈折光学部材とは、該両複屈折光学部材の光線分離面が前記コンデンサレンズと前記対物レンズとに関して互いに共役な関係となるように構成されたことを特徴とする透過照明型微分干渉顕微鏡。

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