特許
J-GLOBAL ID:200903089441112420

水晶デバイス

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-289021
公開番号(公開出願番号):特開2003-101367
出願日: 2001年09月21日
公開日(公表日): 2003年04月04日
要約:
【要約】【課題】水晶振動子の発する基準信号が配線層で大きく減衰する。【解決手段】水晶振動子5が搭載される搭載部1a及び配線層2を有する基体1と、前記基体1の搭載部1aに固定材7を介して固定されている水晶振動子5と、前記水晶振動子5を気密に収容する蓋体3とから成る水晶デバイスであって、前記基体1がLi2Oを5〜30重量%含有する屈伏点が400〜800°Cのリチウム珪酸ガラスを20〜80体積%と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイト、フォルステライトの少なくとも1種から成るフィラー成分を20〜80体積%の割合で含む形成体を焼成して得られたクォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも1種の結晶相を含有する焼結体で、配線層2が2.5μΩ・cm以下の比電気抵抗を有する金属材で形成されており、かつ前記固定材7の弾性率が3.6GPa以下である。
請求項(抜粋):
水晶振動子が搭載される搭載部を有し、該搭載部から外表面にかけて導出される配線層を有する基体と、前記基体の搭載部に固定材を介して固定され、電極が前記配線層に電気的に接続されている水晶振動子と、前記基体に取着され、前記水晶振動子を気密に収容する蓋体とから成る水晶デバイスであって、前記基体がLi2Oを5〜30重量%含有する屈伏点が400〜800°Cのリチウム珪酸ガラスを20〜80体積%と、クォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイト、フォルステライトの少なくとも1種から成るフィラー成分を20〜80体積%の割合で含む形成体を焼成して得られたクォーツ、クリストバライト、トリジマイト、エンスタタイトの少なくとも1種の結晶相を含有する焼結体で、配線層が2.5μΩ・cm以下の比電気抵抗を有する金属材で形成されており、かつ前記固定材の弾性率が3.6GPa以下であることを特徴とする水晶デバイス。
IPC (2件):
H03H 9/10 ,  H03H 9/02
FI (2件):
H03H 9/10 ,  H03H 9/02 L
Fターム (11件):
5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF11 ,  5J108FF14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG15 ,  5J108GG17

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