光記録媒体作製用スパッタ装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154712
公開番号（公開出願番号）：特開2000-345331
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】スパッタ成膜によって生じるディスク基板の変形を低減させ、かつ安定した基板搬送を行う。【解決手段】ディスク基板13に成膜するときは基板ホルダ10の可動部22の接触面をディスク基板13の裏面に接触させてディスク基板13の情報記録領域全面を固定部21の接触面と可動部22の接触面で密着保持する。ディスク基板13を着脱するときは可動部22の接触面を固定部21の嵌合穴24に沿って移動しディスク基板13の裏面から離す。

請求項（抜粋）：

ディスク基板に成膜して光情報記録媒体を作製する光記録媒体作製用スパッタ装置において、ディスク基板を保持する基板ホルダは固定部と可動部を有し、可動部は保持するディスク基板と接触する一定面積の接触面を有し、固定部の嵌合穴に沿って保持するディスク基板のディスク面に対して直交する方向に移動し、ディスク基板に成膜するときは可動部の接触面をディスク基板の裏面に接触させてディスク基板の情報記録領域全面を固定部の接触面と可動部の接触面で密着保持し、ディスク基板を着脱するときは可動部の接触面を固定部の嵌合穴に沿って移動しディスク基板の裏面から離すことを特徴とする光情報記録媒体作製用スパッタ装置。

IPC (2件)：

C23C 14/34 , G11B 7/26 531

FI (2件)：

C23C 14/34 J , G11B 7/26 531

Fターム (8件)：

4K029BD00 , 4K029DA06 , 4K029JA01 , 4K029JA02 , 4K029JA05 , 5D121AA01 , 5D121EE03 , 5D121EE19

前のページに戻る