特許
J-GLOBAL ID:200903089463625529

多孔性セラミック膜の成膜方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 堀田 実 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-156314
公開番号(公開出願番号):特開平8-020857
出願日: 1994年07月08日
公開日(公表日): 1996年01月23日
要約:
【要約】【目的】 耐熱性、耐衝撃性が高く、使用時に酸素を含む高温ガスに晒されても、割れ、欠け、剥がれ等が生じにくく、これにより、コーティングの耐久性と信頼性を高めることができる多孔性セラミック膜の成膜方法を提供する。【構成】 耐熱性の高いセラミック粉末1と溶射温度で蒸発する樹脂2の粉末とを混合して混合粉末3を形成し、この混合粉末を被処理金属面4に溶射して同時に樹脂を少なくとも部分的に蒸発させ、セラミック膜5の内部に気孔6を形成する。セラミック粉末は、イットリアを含むジリコニア、好ましくはZrO2 ・8Y2 O3 であり、樹脂粉末は粒径70〜120μmのポリアクリル樹脂である。
請求項(抜粋):
耐熱性の高いセラミック粉末と溶射温度で蒸発する樹脂粉末とを混合して混合粉末を形成し、該混合粉末を被処理金属面に溶射し、同時に樹脂を少なくとも部分的に蒸発させ、セラミック膜内に気孔を形成する、ことを特徴とする多孔性セラミック膜の成膜方法。
IPC (2件):
C23C 4/10 ,  C23C 4/12

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