特許
J-GLOBAL ID:200903089467881295

グレーズドセラミツク基板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-227783
公開番号(公開出願番号):特開平5-067693
出願日: 1991年09月09日
公開日(公表日): 1993年03月19日
要約:
【要約】【目的】 グレーズ層端部における凹凸等の変形部の生成を抑制し高品質な表面平滑性の高精度膜を有したグレーズドセラミック基板の製造方法の提供を目的とする。【構成】 本発明のグレーズドセラミック基板の製造方法は、セラミック基板上にグレーズ用ガラスペーストをスクリーン印刷法等により所定の膜厚のグレーズ層を複数積層形成後熱処理して成るグレーズドセラミック基板の製造方法であって、下層のグレーズ層の端部から50μm乃至5000μm内側にずらして上層のグレーズ層積層体の端部が位置するように上層のグレーズ層を積層する工程を有する構成からなる。
請求項(抜粋):
セラミック基板上にグレーズ用ガラスペーストをスクリーン印刷法等により所定の膜厚のグレーズ層を複数積層形成後熱処理して成るグレーズドセラミック基板の製造方法であって、下層のグレーズ層の端部から50μm乃至5000μm内側にずらして上層のグレーズ層積層体の端部が位置するように上層のグレーズ層を積層する工程を有することを特徴とするグレーズドセラミック基板の製造方法。
IPC (3件):
H01L 23/12 ,  C04B 41/86 ,  H05K 1/03

前のページに戻る