ウエハ処理装置及びウエハ処理方法並びにイオン注入装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池田憲保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-346170
公開番号（公開出願番号）：特開2006-156762
出願日： 2004年11月30日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】ウエハ処理能力を向上させることのできるウエハ処理装置を提供する。【解決手段】プラテン装置を備えた真空処理室に隣接して、ロードロック台を有する2つのロードロック室を真空中間室を介して設けるとともに前記真空処理室と前記真空中間室との間に連絡開口を設ける。前記プラテン装置と前記真空中間室との間には前記2つのロードロック室に対応させて2つのウエハ保持アームを配設し、該2つのウエハ保持アームは、対応するロードロック台と前記プラテン装置との間を、前記連絡開口を通過するとともに上下で立体交差しながら往復動作可能に構成する。一方のウエハ保持アームで処理前ウエハを保持し、他方のウエハ保持アームで処理済ウエハを保持することにより、一方のロードロック台から前記プラテン装置への処理前ウエハの搬入と、前記プラテン装置から他方のロードロック台への処理済ウエハの搬出とを並行させることができるよう構成した。【選択図】図1a

請求項（抜粋）：

真空処理室内にプラテン装置を設け、該プラテン装置に被処理ウエハを載置して加工処理を行うウエハ処理装置において、前記真空処理室に隣接して、ロードロック台を有する2つのロードロック室を真空中間室を介して設けるとともに前記真空処理室と前記真空中間室との間に連絡開口を設け、前記真空処理室内のプラテン装置と前記真空中間室との間に前記2つのロードロック室に対応させて2つのウエハ保持アームを配設し、該2つのウエハ保持アームは、対応するロードロック台と前記プラテン装置との間を、前記連絡開口を通過するとともに上下で立体交差しながら往復動作可能に構成し、一方のウエハ保持アームで処理前ウエハを保持し、他方のウエハ保持アームで処理済ウエハを保持することにより、一方のロードロック台から前記プラテン装置への処理前ウエハの搬入と、前記プラテン装置から他方のロードロック台への処理済ウエハの搬出とを並行させることができるよう構成したことを特徴とするウエハ処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 , H01J 37/317

FI (2件)：

H01L21/68 A , H01J37/317 B

Fターム (16件)：

5C034CC10 , 5F031CA02 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA50 , 5F031MA03 , 5F031MA31 , 5F031NA07 , 5F031PA02 , 5F031PA25

引用特許：

出願人引用 (9件)

ウエハ搬送装置及びその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-172801 出願人：住友イートンノバ株式会社
特開昭64-064231
ウェーハ搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-371571 出願人：三菱住友シリコン株式会社

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審査官引用 (5件)

真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-081815 出願人：玉井忠素
特開昭64-064231
特開昭64-045543

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