特許

J-GLOBAL ID：200903089470585907

保護膜を具える光学素子及びその製造方法及び光学装置及び半導体露光装置

発明者： 松成 秀一 ,  松浦 恵二 ,  押川 識
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-315222
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147204
出願日： 1998年11月06日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 光学装置、特に紫外域用の半導体露光装置、等で用いる光学素子は、光学素子の表面に雰囲気中の水や有機物、無機物が付着、吸着することにより汚染され、光学素子の光学特性が損ねられることがあった。本発明は、上記の問題を解決し、製造コストが安く、良好な防汚染性を具え、容易に剥離できる保護膜を具えた光学素子、この光学素子を具えた光学装置を提供することである。【解決手段】光学素子表面に、フッ化炭素基を分子の少なくとも一端に有し活性水素基と反応する官能基を分子の残りの少なくとも一端に有する有機分子を供給することにより光学素子表面上の活性水素基と反応基とを化学反応させて保護膜を形成することにより上記問題を解決した。

請求項（抜粋）：

フッ化炭素基を分子の少なくとも一端に有し活性水素基と反応する官能基(以下反応基と呼ぶ)を前記分子の残りの少なくとも一端に有する有機分子を光学素子の表面に供給することにより前記光学素子表面上の活性水素基と前記反応基とを化学反応させて成る保護膜を表面上に具えることを特徴とする光学素子。

IPC (3件)：

G02B 1/10 ,  H01L 21/027 ,  C03C 17/30

FI (3件)：

G02B 1/10 ,  C03C 17/30 B ,  H01L 21/30 503 G

Fターム (24件)：

2K009AA00 ,  2K009BB02 ,  2K009BB04 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009CC21 ,  2K009DD03 ,  2K009EE02 ,  2K009EE05 ,  4G059AA11 ,  4G059AB01 ,  4G059AB11 ,  4G059AC04 ,  4G059AC18 ,  4G059BB01 ,  4G059FA05 ,  4G059FB01 ,  4G059GA01 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA16 ,  5F046AA28 ,  5F046CA04 ,  5F046CB12