特許

J-GLOBAL ID：200903089476907817

クリーンルームの天井における渦を減少させる方法及び装置

発明者： スプランシイ,ピーター
出願人/特許権者： ダウ テクノロジイーズ,インク.
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外10名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-512196
公開番号（公開出願番号）：特表平8-503293
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：

【要約】グリッド支持構造(33)の開口内に支持された在来のHEPAフィルタ(31)を含む、クリーンルーム内の天井構造(30)であり、天井構造が、グリッド支持構造の各開口(32)の下端の内部周辺の近くに連結されたゲルトラック(38)を含むものである。HEPAフィルタに含まれる外周フランジ(44)を含むHEPAフィルタは、外周フランジの天井端(46)を、天井レベル(50)に近接したゲルトラック内に突っ込むことで、天井構造内で支持されている。傾斜した壁の下向きの延出部がグリッド支持構造の下の渦領域(51)内に突出するように、ゲルトラックの傾斜した壁(41、42)に沿って傾斜したチャネルが形成されている。HEPAフィルタからのろ過された空気は、次いで、渦領域から微粒子汚染物質を押し流すのに十分な速度でこの流れチャネル内に向けられる。

請求項（抜粋）：

グリッド支持構造の開口に支持されたHEPAフィルタのアレイを含む、クリーンルーム内部の天井構造であって、 グリッド支持構造の少なくとも1つの開口の最も低い内部の周辺の付近のクリーンルーム内部の天井の露出面に連結されたゲルトラックと、 HEPAフィルタの露出した表面の近くに連結された外周フランジを含み、天井レベルに接近したゲルトラック内に吊された密閉端を有する、少なくとも1つの前記HEPAフィルタと、を含む天井構造。

IPC (3件)：

F24F 7/06 ,  F24F 13/06 ,  F24F 13/068