特許

J-GLOBAL ID：200903089481343980

電子線アライメント方法及び装置

発明者： 野末 寛
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-110441
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289842
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】ステージを移動することなく、アライメントを行い、ウェハの処理能力を向上する電子線アラインメント方法の提供。【解決手段】アライメントマークを走査する電子線の走査方向を回転方向に種々変化して走査し、検出された反射電子電子信号からマークの幅を求め、マークの幅が最小となる電子線の走査方向を算出し、ステージ座標系とウェハ座標系との回転方向のずれとする。

請求項（抜粋）：

ステージ上に載置された半導体基板上に所望のパターンを描画するに際し、前記半導体基板上のアライメントマークを電子線で走査し、前記アライメントマークから発生した反射電子を反射電子検出器により検出して前記アライメントマークの位置を認識した後、ステージ座標系とウェハ座標系との位置ずれ及び回転方向のずれを算出、補正する電子線アライメント方法において、前記アライメントマークを走査する電子線の走査方向を回転方向に種々変化して走査し、検出された反射電子信号から前記アライメントマークの幅を求め、前記アライメントマークの幅が最小となる前記電子線の走査方向を算出し、前記ステージ座標系とウェハ座標系との回転方向のずれとする、ことを特徴とする電子線アライメント方法。