特許
J-GLOBAL ID:200903089485409579

冷凍装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高田 守
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-228551
公開番号(公開出願番号):特開平6-074819
出願日: 1992年08月27日
公開日(公表日): 1994年03月18日
要約:
【要約】【目的】 極低温に冷却して使用する電子素子を冷却する冷凍装置において、冷凍機の低温生成部から電子素子に伝わる振動を低減する。【構成】 冷凍機3の低温生成部6とデュワ2との間に小さな隙間を形成したまま両者を保持するための、低温生成部用マウント14とデュワ用マウント13を設け、さらに低温生成部用マウント14に防振部材15を備えたものである。【効果】 冷凍機のコールドフィンガとデュワとの間の小さな隙間部分に生じる液化空気を介して電子素子を冷却することによって、冷凍機の低温生成部からの振動を直接デュワに伝えずに電子素子を冷却でき、さらに、低温生成部用マウントに防振部材を備えているので、他の構造部材を介して伝わる振動をも低減できるという効果がある。
請求項(抜粋):
外殻と、前記外殻に一端が取り付けられ、前記外殻に周囲を覆われた内殻円筒と、前記内殻円筒の別の一端に設けられた内殻底板とで構成された内部が真空の殻構造を有するデュワと、前記内殻底板に取り付けられた極低温に冷却して使用する電子素子と、前記内殻円筒の内側に挿入された筒形状のコールドフィンガ付きの低温生成部を有する冷凍機とを備えた冷凍装置において、前記低温生成部と前記デュワとの間に小さな隙間を形成したまま両者を保持できるように、前記低温生成部を任意の構造部材に取り付ける低温生成部用マウントと、前記デュワを任意の構造部材に取り付けるデュワ用マウントとが設けられていることを特徴とする冷凍装置。
IPC (4件):
G01J 1/02 ,  F25B 9/00 ,  G01J 5/02 ,  G01T 1/24

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